浅谈净化工程中金福彩票室等级百级、千级、万级、十万级的划分标

华锐净化 2020-09-13 12:43:24 阅读


净化工程标准的金福彩票室等级一般分为百(100)级、千(1000)级、万(10000)级、十万(100000)级,其中百级金福彩票等级为最高级别;现在2010年版的GMP 净化车间已经不用这个叫法了,分为ABCD级别,分别相对应于98版的几个级别,通过检测区域内的尘埃粒子数、浮游菌(fungus)数、沉降均数评价净化级别,各个级别有不同的要求,净化等级分静态、动态两种。
(一)各国金福彩票室等级
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,金福彩票室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。 金福彩票网z:Wg1pj
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
(二)金福彩票室定义
金福彩票室(Clean Room),亦称为无尘室或金福彩票室。
「金福彩票室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌(fungus)等之污染物排除(Remove),并将室内之温度、金福彩票度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。金福彩票手术室装修公司层流手术室的空气压力根据其不同区域(如手术间、无菌准备间、刷手间、麻醉间和周围干净区域等)金福彩票度不同要求而不同。不同级别的层流手术室其空气金福彩票度标准不同。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之金福彩票度、温湿度及压力等性能之特性。
金福彩票室最主要之作用在于控制(control)产品(如硅(silicon)芯片等)所接触之大气的金福彩票度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「金福彩票室」。
(三)金福彩票室控管之项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。金福彩票手术室装修公司层流手术室的空气压力根据其不同区域(如手术间、无菌准备间、刷手间、麻醉间和周围干净区域等)金福彩票度不同要求而不同。不同级别的层流手术室其空气金福彩票度标准不同。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电(是一种处于静止状态的电荷)之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素(factor)之考虑。
10. 节能之考量。金福彩票手术室装修手术室的空气;手术所需的物品;医生护士的手指及病人的皮肤,防止感染,确保手术成功率。要求设计合理,设备齐全,护士工作反应灵敏、快捷,有高效的工作效率。手术室要有一套严格合理的规章制度和无菌操作规范。随着外科技术飞速发展,手术室工作日趋现代化。
(四)金福彩票室之分类
1.乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与金福彩票室内之空气过滤器(HEPA)进入金福彩票室,并由金福彩票室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于金福彩票室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本,金福彩票室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高金福彩票室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之金福彩票度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar):
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于金福彩票室等级需定较高之环境使用,一般其金福彩票室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器(作用:过滤杂质等)单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖(Cover),空气由上往下吹,可得较高之金福彩票度,在制程中或工作人员所
产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难(difficult),天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器(作用:过滤杂质等)较麻烦。
3.复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部(part)超金福彩票之空气。
(1)金福彩票隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使金福彩票度等级提高至10级以上,可节省(spare)安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质(Character),ULSI制程大都采用此种型式。
金福彩票隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)金福彩票管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产(Produce)线包围并净化处理,将金福彩票度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之金福彩票度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部(part)金福彩票室(Clean Spot):将金福彩票室等级10,000~100,000之乱流金福彩票室内之产品制程区的金福彩票度等级提高为10~1000级以上,以为生产(Produce)之用;金福彩票工作台、金福彩票工作棚、金福彩票风柜即属此类。
金福彩票工作台:等级Class 1~100级。
金福彩票工作棚:为在乱流式之金福彩票室空间内以防静电(是一种处于静止状态的电荷)之透明塑料(结构:合成树脂、增塑剂、稳定剂、色料)布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机(Draught Fan)组而成为一较高级之金福彩票空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用
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